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推荐品牌
| - | 单位 | nXDS6i | nXDS10i | nXDS15i | nXDS20i | ||||
| 真空数据 | |||||||||
| 峰值抽速 | m^3h^-1(cfm) | 6.2(3.6) | 11.4(6.7) | 15.1(8.9) | 22.0(13.0) | ||||
| 极限真空 | mbar(Torr) | 0.02(0.015) | 0.007(0.005) | 0.03(0.022) | |||||
| 极限真空（开气镇） | mbarTorr) | 0.05(0.038) | 0.04(0.03) | 0.06(0.045) | |||||
| 最高可抽取水蒸气压力 | mbarTorr) | 35(26) | 20(15) | ||||||
| 水蒸气处理量 | gh^-1 | 110 | 145 | 240 | 220 | ||||
| 最大连续入口压力 | mbarTorr) | 200(150) | 50(38) | ||||||
| 最大气镇/气体吹扫压力 | bar表压(psig) | 0.5(7) | |||||||
| 电机数据 | |||||||||
| 电源电压 | V | 100-127/200-240(+/-10%) | |||||||
| 电源频率 | Hz | 50/60 | |||||||
| 额定转速 | rpm | 1800 | |||||||
| 最低待机转速 | rpm | 1200 | |||||||
| 转速控制精度 | % | 1 | |||||||
| 极限真空状态下运行功率 | W | 260 | 280 | 300 | 260 | ||||
| 电机功率 | W | 660 | |||||||
| 电源连接器 | - | IEC EN60320 C13 | |||||||
| 推荐保险丝，230V(115V) | A | 10(13) | |||||||
| 物理数据 | |||||||||
| 重量 | kg（lb) | 26.2(58) | 25.8(57) | 25.2(56) | 25.6(56) | ||||
| 进气法兰 | - | NW25 | |||||||
| 排气法兰 | - | NW25 | |||||||
| 噪声（极限真空状态下运行） | dB(A) | 52 | |||||||
| 噪声（带隔音罩） | dB(A) | 47 | |||||||
| 进气法兰处的振动 | mms^-1(rms) | <4.5 | |||||||
| 密封性（静态） | mbar ls^-1 | <1x10^-6 | |||||||
| 运行环境温度范围 | ℃（℉） | 5至40 (41至104) |
温控风扇：可以在低负载条件下降低风扇转速，从而使最小噪声降至仅52 dB(A)
轴承罩：可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离，以确保清洁的真空环境，并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中，从而延长轴承的使用寿命
变频器驱动：全球范围内泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自动电压调整特性，从而有助于打造优秀用户体验
优化涡盘设计:转速提高，极限真空比初代提高一个数量级，较低极限压力仅为7x10^3mbar
优化端面密封技术:使用寿命发生显著变化，就大多数应用而言，典型的端面密封条使用寿命达到2年以上
高流量气镇特性:可以最高220 gh^-1的速度抽取蒸气(包括水蒸气)
