| 型号 | UFP3C-L | UFP3C-R | UFP5C | UFP5C-R | UFP6C-L | UFP6C-R | |||
| 行程(灵敏度) | X | 粗调:±6.5mm;精调:±0.3mm;(粗调:≤10μm;精调:≤0.5μm) | |||||||
| Y | 粗调:±6.5mm;精调:±0.3mm;(粗调:≤10μm;精调:≤0.5μm) | ||||||||
| Z | 粗调:±6.5mm;精调:±0.3mm;(粗调:≤10μm;精调:≤0.5μm) | ||||||||
| θx | ±3°(≤25.2″) | ||||||||
| θy | ±3°(≤23.4″) | ||||||||
| θz | ±4°(≤34″) | ||||||||
| 导向机构 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱导轨+交叉滚柱轴环 | |||||||
| 驱动方式 | 分厘卡 | ||||||||
| 主体材料及表面处理 | 铝合金,黑色阳极氧化处理 | ||||||||
| 自重(Kg) | 1.74 | 2.37 | 2.7 | ||||||
| 负载(Kg) | 1.5 | 1 | 0.5 |