产品分类
推荐品牌
| 型号 | Mirrors.TxTy0303 | Mirrors.TxTy1010 | Mirrors.Z12TxTy0101 | ||||||
| 运动方向 | TX,TY | Z，Tx&Ty向 | |||||||
| 底面尺寸×高度（mm） | 详见工程图 | ||||||||
| 主体材料 | 铝合金&不锈钢 | ||||||||
| 运动行程 | θX,3mrad | Θx,10mrad | |||||||
| θy,3mrad | Θy,10mrad | 12um/1mrad/1mrad | |||||||
| 运动分辨率(开环) | 0.05urad（开环） | 0.2urad（开环） | Z：0.2nm；Tx：0.05urad；Ty：0.05urad | ||||||
| 运动分辨率(闭环) | 0.1urad（闭环） | 0.5urad（闭环） | Z：0.4nm；Tx：0.1urad；Ty：0.1urad | ||||||
| 线性误差 | <0.1% | 0.002 | |||||||
| 共振频率(空载) | 2kHz | 1kHz | 5.5kHz | ||||||
| 摇摆半径 | 5.5mm | / | |||||||
| 闭环传感器（闭环版本） | SGS | 电阻式 | |||||||
| 驱动电压 | Max.150V | ||||||||
| 推荐使用温度 | -20~80℃ | ||||||||
| 搭配控制器 | Archimedes.3S控制器 | ||||||||
| 镜片重量 | 30g | 30g | / |
闭环分辨率优于1nm
最大负载3.5kg
针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案
支持无磁(NM)和高真空(UHV)选件升级
