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推荐品牌
| 型号 | A8 | A12 | |||||||
| 晶圆规格 | 晶圆直径 | 6英寸，8英寸 | 8英寸，12英寸 | ||||||
| 晶圆厚度 | 50-2000μm | 200-2200μm | |||||||
| 重量 | ≤500g | ≤500g | |||||||
| Die尺寸 | 300-100000μm | 300-100000μm | |||||||
| XY轴规格参数 | XY行程 | 260mm*450mm | X:±170mm,Y:-180,+600mm | ||||||
| XY分辨率 | 0.lμm | 0.lμm | |||||||
| XY重复定位精度 | ≤±lμm | ≤±lμm | |||||||
| XY最大速度 | 200mm/s | 240mm/s | |||||||
| Z轴规格参数 | Z行程 | 0-80mm | 0-80mm | ||||||
| Z分辨率 | 0.lμm | 0.lμm | |||||||
| Z重复定位精度 | ≤±lμm | ≤±lμm | |||||||
| Z最大速度 | 80mm/s | 80mm/s | |||||||
| Theta规格参数 | 范围 | ±10° | ±10° | ||||||
| 精度 | 0.00001° | 0.00001° | |||||||
| Cassette/Wafer尺寸 | Ф150mm,Ф200mm | Ф200mm,Ф300mm | |||||||
| 电力需求 | 50/60HzAC220V | 50/60HzAC220V | |||||||
| CDA气压 | 0.6-0.7MpA | 0.4-0.8MpA | |||||||
| 真空气压 | -70to-90Kpa | -70to-90Kpa |
