产品分类
推荐品牌
| 机械规格 | |||||||||
| Chuck | 8' | ||||||||
| Chuck平整度 | 20um | ||||||||
| 探针臂定位精度 | 2um | ||||||||
| 探针臂X轴行程 | 10mm | ||||||||
| 探针臂Y轴行程 | 10mm | ||||||||
| 探针臂Z轴行程 | 10mm | ||||||||
| Chuck位移台X轴行程 | 200mm | ||||||||
| Chuck位移台Y轴行程 | 200mm | ||||||||
| Chuck位移台Z轴行程 | 20mm | ||||||||
| Chuck位移台Q轴行程 | ±5° | ||||||||
| Chuck位移台定位精度 | 1um | ||||||||
| 温控规格 | |||||||||
| 温度范围 | 77K～450K（液氮） | ||||||||
| 温控器分辨率 | 0.001℃ | ||||||||
| 传感器误差 | 任意区段0.5% | ||||||||
| 真空规格 | |||||||||
| 漏率 | 1.3x10-9Pa.M3/s | ||||||||
| 分子泵组抽速 | 290L/S | ||||||||
| 分子泵极限压力 | ＜5x10-10mbar | ||||||||
| 系统极限压力 | ＜5.0x10-4Pa |
