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推荐品牌
| >卡盘移动平台（标准配置） | |||||||||
| XY行程范围 | 300mmx300mm(12'x12') | ||||||||
| XY最佳行程 | 300mmx300mm（满足大范围行程测试） | ||||||||
| 移动精度/分辨率 | <1.0µm(~1mm/rev) | ||||||||
| 平面性 | <10µm | ||||||||
| theta行程 | 粗调：360° | ||||||||
| 微调精度：±8.0° | |||||||||
| 分辨率：7.5x10-3gradient | |||||||||
| 运动控制 | 气控+大手柄控制 | ||||||||
| Z轴快速升降 | 快速升降：3mm | ||||||||
| 微调升降：0-13mm,精度：≤2µm | |||||||||
| >手动显微镜平台 | |||||||||
| 移动范围 | 50mmx50mm | ||||||||
| 移动分辨率 | ≤2µm | ||||||||
| 显微镜Z升降 | 25mm-100mm*取决于显微镜配置 | ||||||||
| 气动升降50mm | |||||||||
| 运动控制 | 独立控制的X和Y旋钮 | ||||||||
| >针座平台 | |||||||||
| 材料 | 钢镀镍 | ||||||||
| 尺寸 | 见产品尺寸介绍/17页 | ||||||||
| 最大针座数量 | 8DCand4RF(取于针座配置) | ||||||||
| 卡盘到针座平台下底面最佳距离 | 8mm（卡盘上表面与针座平台下表面） | ||||||||
| Z-height运动范围 | Max.0-40mm(取于卡盘配置) | ||||||||
| 针座平台升降 | 3段：分离(300µm)，卡盘装载(5mm),不间断升降（0-40mm) | ||||||||
| 接触重复性 | <±1µm | ||||||||
| RF针座固定 | 磁力吸附/真空吸附 | ||||||||
| DC针座固定 | 磁力吸附/真空吸附 |
