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| 型号 | M4 | M6mini | M6 | ||||||
| 外形（长*宽*高） | 650*490*620mm | 650*490*620mm | 650*490*620mm | ||||||
| 重量（KG） | 约45kg | 约47kg | 约52kg | ||||||
| 电力需求 | 220VC,50~60Hz | ||||||||
| 卡盘常温标准 | 卡盘尺寸 | 4' | 6' | 6' | |||||
| 样品固定方式 | 环形真空吸附（可定制多孔吸附） | ||||||||
| 背电极测试功能 | 有/样品台电学独立悬空 | ||||||||
| 卡盘材质 | 不锈钢/铜镀镍或镀金 | ||||||||
| 卡盘移动平台 | X-Y行程 | 100*100mm | 150*150mm | 150*150mm | |||||
| 移动精度 | 10μm | ||||||||
| Theta行程 | 360°旋转（粗调）；微调范围±8°，微调精度0.002° | ||||||||
| 卡盘升降 | N/A | ||||||||
| 卡盘快速拉出 | N/A | ||||||||
| 控制方式 | 小型旋钮驱动 | ||||||||
| 针座平台 | 平台尺寸 | 长540mm*宽310mm | |||||||
| 卡盘到平台距离 | 8mm（卡盘上表面与针座平台下表面） | ||||||||
| 针座数量 | 最多可放置6针座（DC×6/RF×4,DC×2) | ||||||||
| 针座平台升降 | N/A | ||||||||
| 针座定位方式 | 磁力吸附或真空吸附 | ||||||||
| 光学特性 | 显微镜规格 | 标配体视显微镜（可选配视频显微镜） | |||||||
| 放大倍数 | 16~100X | ||||||||
| CCD像素 | 3种CCD可选:200W（数字）/500W（数字）/650W（数字） | ||||||||
| 显微镜控制行程 | 显微镜调焦架控制可360度旋转，Z轴：50.8mm | ||||||||
| 显微镜移动精度 | N/A | ||||||||
| 镜头切换方式 | N/A | ||||||||
| 点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||||||
| 机械精度 | 10μm/2μm/0.7μm | ||||||||
| 漏电精度 | 同轴1pA/V @25℃；三轴100fA/V @25℃; 三轴10pA@3kv @25°C， 测试条件：接地屏蔽的干燥环境（空气露点低于-40°C） | ||||||||
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/三轴接口 |
