型号 | UFP1A | UFP1B | UFP1C-L | UFP1C-R | UFP2T-L | UFP2T-R | |||
台面尺寸(mm) | 60×60 | 45×45 | |||||||
台面厚度(mm) | 20 | 25 | 30 | ||||||
移动量 | 粗调:±6.5mm;精调:±0.3mm | θx:±3°;θy:±3° | |||||||
导向机构 | 线性滑块导轨 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱轴环 | ||||||
驱动 | 分厘卡 | ||||||||
主体材料及表面处理 | 铝合金,黑色阳极氧化处理 | ||||||||
自重(Kg) | 0.28 | 0.32 | 0.4 | 0.64 | |||||
灵敏度 | 粗调:≤10µm;精调≤0.5µm | θx:≤25.2″;θy:≤23.4″ | |||||||
静态平行度 | ≤60µm | ||||||||
运动平行度 | ≤10µm | ||||||||
运动直线度 | ≤3µm | ||||||||
水平负载(Kg) | 5 | 5 | 5 | 1.5 |