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主动隔振光学平台
型号:
DVIA-MO系列
品牌:
卓立汉光(ZOLIX)
简述:
DVIA-MO 系列高精密主动隔振光学平台为韩国DAEIL(大一)株式会社生产的主动隔振光学平台,由台面和主动隔振支撑两部分组成。
产品型号
型号 DVIA-M1000 DVIA-M2000 DVIA-M3000
尺寸 隔振器(mm) 215x215x180 232x232x180 308x308x180
控制器(mm) 334x357x120 334x357x120 334x357x120
*大负载(kg) 1500-3500 1500-3500 1500-3500
重量(kg) 15 15 15
驱动方式 电机驱动
隔振自由度 6个自由度
隔振效率 95%-99%at10Hz
回复时间 <0.5Sec
驱动器推力 竖直>20N,水平>40N
输入电压 AC85-264/50-60Hz
功率消耗 峰值功率110W,稳定功率50W
空气压力 大于0.5Mpa
环境要求 温度℃ 5-50°C
湿度 20%-90%
主动隔振频率范围 0.5-100Hz
初始水平调整 自动调整
系统配置 4个隔振器包含控制箱
产品特点

具有非常优良的隔振性能,特别是在低频0.5Hz-10Hz达到90%以上的隔振效率;

采用惯性传感器,可以检测出六个自由度的振动并做补偿;

采用真蜂窝三层夹心式结构台面,厚度可选100/200/300mm;

进口精密主动隔振光学平台;

隔振性能优异,广泛应用于扫描探针显微镜,原子力显微镜,扫面隧道显微镜,激光干涉仪,半导体检测设备,三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等

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