型号 | DVIA-M1000 | DVIA-M2000 | DVIA-M3000 | ||||||
尺寸 | 隔振器(mm) | 215x215x180 | 232x232x180 | 308x308x180 | |||||
控制器(mm) | 334x357x120 | 334x357x120 | 334x357x120 | ||||||
*大负载(kg) | 1500-3500 | 1500-3500 | 1500-3500 | ||||||
重量(kg) | 15 | 15 | 15 | ||||||
驱动方式 | 电机驱动 | ||||||||
隔振自由度 | 6个自由度 | ||||||||
隔振效率 | 95%-99%at10Hz | ||||||||
回复时间 | <0.5Sec | ||||||||
驱动器推力 | 竖直>20N,水平>40N | ||||||||
输入电压 | AC85-264/50-60Hz | ||||||||
功率消耗 | 峰值功率110W,稳定功率50W | ||||||||
空气压力 | 大于0.5Mpa | ||||||||
环境要求 | 温度℃ | 5-50°C | |||||||
湿度 | 20%-90% | ||||||||
主动隔振频率范围 | 0.5-100Hz | ||||||||
初始水平调整 | 自动调整 | ||||||||
系统配置 | 4个隔振器包含控制箱 |
具有非常优良的隔振性能,特别是在低频0.5Hz-10Hz达到90%以上的隔振效率;
采用惯性传感器,可以检测出六个自由度的振动并做补偿;
采用真蜂窝三层夹心式结构台面,厚度可选100/200/300mm;
进口精密主动隔振光学平台;
隔振性能优异,广泛应用于扫描探针显微镜,原子力显微镜,扫面隧道显微镜,激光干涉仪,半导体检测设备,三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等