产品分类
推荐品牌
| 型号 | Carrier.HS100.z.C | Carrier.HS100.xy.C | Carrier.HS100.zTxTy.C | Carrier.S100.xyRz.C | |||||
| 工作环境 | .NM，绝对无磁版本；.UHV，超高真空版本； | ||||||||
| 运动方向 | Z方向 | XY方向 | Z，θx&θy | XY方向+Rz旋转 | |||||
| 底面尺寸×高度（mm） | 150×50×30 | 150×150×30 | 150×150×30 | 150×50×30 | |||||
| 主体材料 | 铝合金&不锈钢 | ||||||||
| 自重（g） | 1000 | ||||||||
| 运动行程 | 100um | 100um×100um | 100um，1mrad&1mrad | 100umx100umRz:1mard | |||||
| 中空透孔（mm） | 66×66 | ||||||||
| 线性度误差（z方向运动） | 0.00035 | ||||||||
| 俯仰/偏摆/旋转 | 50urad/50urad/10urad | / | / | / | |||||
| 运动分辨率（闭环/开环） | 1nm/0.3nm | 1nm/0.2nm | 1nm/0.5nm | 1nm/0.2nm | |||||
| 运动可重复精度 | ±10nm | ±10nm | ±10nm,±0.1urad | ±10nm | |||||
| 刚性（N/um） | 2.5 | 2 | 2 | 2 | |||||
| 共振频率（空载/2.5kg） | 500Hz/200Hz | 420Hz/130Hz | 480Hz/160Hz | 420Hz/130Hz | |||||
| 最大负载（kg） | 5 | 3.5 | 2.5 | 3.5 | |||||
| 闭环传感器（闭环版本） | 电容式 | ||||||||
| 驱动电压 | Max.150V | ||||||||
| 推荐使用温度 | -15~40°C |
闭环分辨率优于1nm
最大负载3.5kg
针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案
支持无磁(NM)和高真空(UHV)选件升级
