产品分类
推荐品牌
| 型号 | Carrier200.xy./xyz.C | ||||||||
| 运动方向 | Carrier.S200.XY:X，Y方向 | ||||||||
| Carrier.S200.XYZ:X，Y，Z方向 | |||||||||
| 底面尺寸×高度（mm） | 182×150×15 | ||||||||
| 主体材料 | 铝合金/不锈钢 | ||||||||
| 自重（g） | 1000 | ||||||||
| 运动行程（um） | Carrier.S200.xy:200×200 | ||||||||
| Carrier.S200.xyz:200×200×200 | |||||||||
| 中间通孔尺寸（mm） | 77×65 | ||||||||
| 运动分辨率（nm） | 2 | ||||||||
| 运动可重复精度（nm） | 士20 | ||||||||
| 线性误差 | 优于0.1% | ||||||||
| 共振频率（Hz） | 200(X)150(Y) | ||||||||
| 最大负载（g） | 500 | ||||||||
| 闭环传感器（闭环版本） | 电容式 | ||||||||
| 驱动电压 | Max.150V | ||||||||
| 推荐使用温度 | -15~40°C | ||||||||
| 质量（kg） | 1 |
两维度XY扫描运动200um×200um；
闭环定位精度优于1nm；
最⼤负载500g；
针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
⽀持⽆磁(.NM)和⾼真空(.UHV)选件升级
