产品分类
推荐品牌
| 型号 | SH30.xyz.0/.C | ||||||||
| 运动方向 | X,Y,Z方向 | ||||||||
| 底面尺寸×高度（mm） | 160×160×35 | ||||||||
| 主体材料 | 不锈钢 | ||||||||
| 自重（g） | 4000 | ||||||||
| 运动行程（um） | 30×30×15 | ||||||||
| 运动分辨率（nm） | 0.1(开环)0.3(闭环) | ||||||||
| 运动可重复精度（闭环）（nm） | <3 | ||||||||
| 偏摆角度（urad） | 20/20/50 | ||||||||
| 共振频率(空载)（Hz） | 50 | ||||||||
| 最大负载（kg） | 10 | ||||||||
| 闭环传感器（闭环版本） | 电容式 | ||||||||
| 驱动电压（V） | 150 | ||||||||
| 推荐使用温度 | -20~80°C |
三维度XY扫描运动30umx30umx15um
外形尺寸，160mmx160mmx35mm
闭环分辨率优于0.3nm
最大负载10kg
支持高真空(HV)和超高真空(UHV)选件升级
