产品分类
推荐品牌
| 型号 | SD15.x.C | SD30.x.C | |||||||
| 运动方向 | X方向 | ||||||||
| 底面尺寸×高度（mm） | 62×40×13.5 | 80×40×13.5 | |||||||
| 主体材料 | 铝合金 | ||||||||
| 自重（g） | 250 | 350 | |||||||
| 运动行程（um） | 15（闭环） | 30（闭环） | |||||||
| 运动分辨率（nm） | 0.1 | 0.2 | |||||||
| 运动可重复精度（nm） | 2 | 4 | |||||||
| 线性误差 | 优于0.035% | ||||||||
| 摇摆（urad） | 2 | ||||||||
| 俯仰（urad） | 2 | ||||||||
| 共振频率（kHz） | 3.3 | 2.2 | |||||||
| 共振频率(300g）（kHz） | 1 | 0.625 | |||||||
| 刚性（N/um） | 28 | 18 | |||||||
| 闭环传感器（闭环版本） | 电容式 | ||||||||
| 推荐使用温度 | -20~80°C |
X方向扫描运动15um,3um
外形尺寸，62mmx40mmx13.5mm,80mmx40mmx13.5mm
闭环分辨率优于0.1nm
电容位置传感
高速运动响应
真空(.HV)，高真空(.UHV)选件升级
