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推荐品牌
| 型号 | S100.z.C/S | S300.x.C | S100.xy/xyz.C | ||||||
| 运动方向 | Z方向 | X方向 | S100.XY:X，Y方向 | ||||||
| S100.XYZ:X，Y，Z方向 | |||||||||
| 底面尺寸×高度（mm） | 40×40×18 | 50×50×17 | 55×55×40 | ||||||
| 主体材料 | 铝合金&不锈钢 | ||||||||
| 自重（g） | 150 | 200 | 500 | ||||||
| 运动行程（um） | 100(闭环) | 300(开环) | S100.xy.C:100×100 | ||||||
| 250(闭环) | S100.xyz.C:100×100×100 | ||||||||
| 运动分辨率（nm） | 0.2 | 1 | 0.2(开环)1(闭环) | ||||||
| 运动可重复精度（nm） | ±5 | 士10 | <10 | ||||||
| 线性误差 | 优于0.02% | 优于0.1% | 优于0.1% | ||||||
| 共振频率（Hz） | X，Y:400，350 | ||||||||
| 500 | 350 | Z:300 | |||||||
| 刚性（N/um） | 0.5 | / | 0.5 | ||||||
| 闭环传感器（闭环版本） | 电容式 | ||||||||
| 驱动电压 | 150V | Max.150V | 150V | ||||||
| 推荐使用温度 | -20~80°C |
紧凑设计、XYZ三轴在极小外形尺寸范围内做到较大行程
高负载，负载可至500g
闭环精度优于1nm
支持超高真空、无磁版本选用
