型号 | Carrier.OB.050.C | Carrier.OB100.C | Carrier.OBHL100.C | ||||||
外形尺寸 | 详见各型号尺寸图 | ||||||||
材质 | 不锈钢/铝合金 | ||||||||
自重(g) | 270 | 270 | 500 | ||||||
运动方向 | Z轴 | ||||||||
行程(um) | 50 | 100 | 100 | ||||||
线性度 | 0.0002 | 0.0003 | 0.0002 | ||||||
内置传感器 | 电容式传感 | ||||||||
传感器噪声(nm) | 1 | ||||||||
Z方向分辨率,开环(nm) | 0.2 | ||||||||
稳定时间(90%位置到达)(ms) | 10 | 15 | 10 | ||||||
共振频率(无负载)(Hz) | 600 | 500 | 900 | ||||||
共振频率(150g负载)(Hz) | 300 | 250 | 500 |
最快稳定时间(90%位置稳定)15ms以内
闭环分辨率优于1nm
最大负载500g
控制器兼容多场科技MotionController-ArchimedesSeries
支持无磁(.NM)、高真空(HV)和超高真空(.UHV)选件