产品分类
推荐品牌
| 型号 | Free6D.3-2.150 | ||||||||
| 外形尺寸（mm） | Ø150×112mm | ||||||||
| 主体材料 | 不锈钢/铝合金 | ||||||||
| 运动参数 | |||||||||
| 行程X,Y,Z | ±9mm,±9mm,±5mm | ||||||||
| 行程ΘX,ΘY,ΘZ | ±10°,±10°,±20° | ||||||||
| 单向重复定位精度X,Y,Z | ±0.3um,±0.3um,±0.1um | ||||||||
| 单向重复定位精度ΘX，ΘY，ΘZ | ±5urad,±5urad,±5urad | ||||||||
| 最小位移X,Y,Z | 0.1um,0.1um,0.1um | ||||||||
| 最小位移ΘX，ΘY，ΘZ | 5urad,5urad,5urad | ||||||||
| 位置传感参数 | |||||||||
| 集成传感器 | 光学编码器 | ||||||||
| 位置传感分辨率 | -光栅尺传感（.O），10nm(默认);4.88nm,2.44nm,1nm可选 | ||||||||
| 控制器信息 | |||||||||
| 工作电压 | 220V | ||||||||
| 控制器通道 | 6通道输出控制 | ||||||||
| 通讯接口 | USB，232，网口通讯 | ||||||||
| 控制软件 | 提供PC端使用软件，支持labview，串口命令集控制 |
