型号 | Carrier.L7550.XY | Carrier.L1010.XY | Carrier.R200 | ||||||
外形尺寸(mm) | 250×200×30 | 250×250×40 | 200×200×24 | ||||||
主体材料 | / | 铝合金 | / | ||||||
自重(g) | 2333 | 4000 | 2000 | ||||||
运动行程(mm) | 75×50 | 100×100 | 连续运动 | ||||||
最小安装尺寸(mm) | 325*250*30 | 350*250*40mm | 200*200*24 | ||||||
通孔尺寸(mm) | 85*65 | 120*120 | 60 | ||||||
最大速度(mm/s) | –15 | –10 | / | ||||||
最小步伐(nm) | ~20 | ~20 | / | ||||||
重复定位精度 | |||||||||
驱动频率 | / | / | Max.20kHz | ||||||
最大负载(kg) | 2 | 4 | 1 | ||||||
位置传感量程(mm) | 75×50 | 100×100 | 300° | ||||||
位置传感分辨率 | -光栅尺传感(.O),10nm(默认);4.88nm,2.44nm,1nm可选 | / | |||||||
推荐使用温度 | / | 15-40℃ | / |
最小步伐尺寸约20nm
最高速度10mm/s
闭环传感,空间分辨率1nm/2.44nm/4.88nm/10nm
支持无磁(NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件
主体铝合金(硬质氧化发黑)