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中空压电载物台
型号:
Carrier.Lxxxx.XY
品牌:
卓立汉光(ZOLIX)
简述:
最小步伐尺寸约 20nm 最高速度10 mm/s 闭环传感,空间分辨率1nm /2.44nm /4.88nm/10nm 支持无磁(NM) 、高真空(.HV) 和超高真空(.UHV) 选件 主体铝合金(硬质氧化发黑)
产品型号
型号 Carrier.L7550.XY Carrier.L1010.XY Carrier.R200
外形尺寸(mm) 250×200×30 250×250×40 200×200×24
主体材料 / 铝合金 /
自重(g) 2333 4000 2000
运动行程(mm) 75×50 100×100 连续运动
最小安装尺寸(mm) 325*250*30 350*250*40mm 200*200*24
通孔尺寸(mm) 85*65 120*120 60
最大速度(mm/s) –15 –10 /
最小步伐(nm) ~20 ~20 /
重复定位精度
驱动频率 / / Max.20kHz
最大负载(kg) 2 4 1
位置传感量程(mm) 75×50 100×100 300°
位置传感分辨率 -光栅尺传感(.O),10nm(默认);4.88nm,2.44nm,1nm可选 /
推荐使用温度 / 15-40℃ /
产品特点

最小步伐尺寸约20nm

最高速度10mm/s

闭环传感,空间分辨率1nm/2.44nm/4.88nm/10nm

支持无磁(NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件

主体铝合金(硬质氧化发黑)

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