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压电纳米角位移台
型号:
GSxx-xx.lab.O/R系列
品牌:
卓立汉光(ZOLIX)
简述:
超安静运动,20HZ驱动频率 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0) 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选 经济型··空间传感分辨率(R)100-200nm
产品型号
型号 GS65-77.Lab.O GS65-97.Lab.O
底面尺寸×高度(mm) 70×70×20
主体材质 默认不锈钢(可选铝合金、纯钛版本
自重 650g 650g
运动行程(°) +/-10
摇摆半径(mm) 77 97
最大速度(°/s) –3
最小步伐 1urad(0.000057°)
驱动频率 Max.20kHz(超安静运动)
最大负载(g) 1000
自锁力(N*mm) 50
驱动力矩(N*mm) 20
位置传感类型 -光栅尺传感(.O)
位置传感量程 20°
位置传感分辨率 0.12urad(6.7m°,默认);0.06urad,0.03urad可选 0.1urad(5.4m°,默认);0.05urad,0.02urad可选
产品特点

超安静运动,20HZ驱动频率

闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)

高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选

经济型··空间传感分辨率(R)100-200nm

最小步伐约10nm

可提供多轴堆叠安装转接件

控制器兼容旋转台,摇摆台

高真空(HV)和超高真空支持无磁(NM)、(UHV)选件

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