型号 | GS65-77.Lab.O | GS65-97.Lab.O | |||||||
底面尺寸×高度(mm) | 70×70×20 | ||||||||
主体材质 | 默认不锈钢(可选铝合金、纯钛版本 | ||||||||
自重 | 650g | 650g | |||||||
运动行程(°) | +/-10 | ||||||||
摇摆半径(mm) | 77 | 97 | |||||||
最大速度(°/s) | –3 | ||||||||
最小步伐 | 1urad(0.000057°) | ||||||||
驱动频率 | Max.20kHz(超安静运动) | ||||||||
最大负载(g) | 1000 | ||||||||
自锁力(N*mm) | 50 | ||||||||
驱动力矩(N*mm) | 20 | ||||||||
位置传感类型 | -光栅尺传感(.O) | ||||||||
位置传感量程 | 20° | ||||||||
位置传感分辨率 | 0.12urad(6.7m°,默认);0.06urad,0.03urad可选 | 0.1urad(5.4m°,默认);0.05urad,0.02urad可选 |
超安静运动,20HZ驱动频率
闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)
高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选
经济型··空间传感分辨率(R)100-200nm
最小步伐约10nm
可提供多轴堆叠安装转接件
控制器兼容旋转台,摇摆台
高真空(HV)和超高真空支持无磁(NM)、(UHV)选件