产品分类
推荐品牌
| 型号 | LS25x.Lab.R | LS35x.Lab.o/R | LS65x.Lab.O/R | ||||||
| 底面尺寸×高度（mm） | 25×25×10 | 35×35×12 | 65×65×13 | ||||||
| 主体材质 | 默认不锈钢（可选铝合金、纯钛版） | ||||||||
| 自重（g） | 40g | 102g（.R）200g(.O) | 200g(.O) | ||||||
| 运动行程（mm） | 8 | 20 | 30 | ||||||
| 最大速度（mm/s） | -20 | ||||||||
| 最小步伐（nm） | ~15 | ~10 | ~10 | ||||||
| 重复定位精度（nm） | / | 300 | 200 | ||||||
| 驱动频率 | Max.20kHz（超安静运动） | ||||||||
| 最大水平推力（N） | 2 | ||||||||
| 保持力 | 5 | 5 | 5 | ||||||
| 全行程俯仰/偏摆 | 0.2mrad/0.3mrad（0.012°/0.017°） | ||||||||
| 水平负载 | 500g | 500g | 2000g | ||||||
| 竖直负载 | 200g | 200g | 150g | ||||||
| 位置传感类型 | -电阻型传感（.R） | -电阻型传感（.R）-光栅尺传感（.O） | -电阻型传感（.R）-光栅尺传感（.O） | ||||||
| 位置传感量程（mm） | 8 | 20 | 30 | ||||||
| 位置传感分辨率 | -150nm | 电阻型传感（.R），100-200nm-光栅尺传感（.O），10nm(默认);4.88nm,2.44nm,1nm可选 | 电阻型传感（.R），100-200nm-光栅尺传感（.O），10nm(默认);4.88nm,2.44nm,1nm可选 |
超安静运动，20HZ驱动频率
闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)
高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认)；4.88nm2.44nm,lnm可选
经济型空间传感分辨率(R)100-200nm
最小步伐约10nm
可提供多轴堆叠安装转接件
控制器兼容旋转台，摇摆台
高真空(HV)和超高真空支持无磁(NM)、(UHV)选件
