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推荐品牌
| >卡盘XY移动平台（标准配置） | |||||||||
| XY行程范围 | 300mmx300mm(12'x12') | ||||||||
| XY最佳行程 | 300mmx300mm（满足大范围行程测试） | ||||||||
| 移动精度/分辨率 | <1.0µm(0.04mils)(~0.8mm/rev) | ||||||||
| 平面性 | <10µm | ||||||||
| theta行程 | 粗调：360° | ||||||||
| 微调精度：±8.0°(optional)* | |||||||||
| 分辨率：7.5x10-3gradient | |||||||||
| 运动控制 | 气控+无牙螺母控制 | ||||||||
| Z轴升降 | 快速升降：3mm | ||||||||
| 微调升降：0-13mm,精度：≤2µm | |||||||||
| >针座平台 | |||||||||
| 材料 | 钢镀镍 | ||||||||
| 尺寸 | 见产品尺寸介绍第8页 | ||||||||
| 最大针座数量 | 8DCand4RF(取于针座配置) | ||||||||
| 卡盘到针座平台下底面最佳距离 | / | ||||||||
| Z-height运动范围 | Max.0-40mm(取于卡盘配置) | ||||||||
| Separationlift | 3段：分离(300µm)，Load装载(5mm),不间断升降（0-40mm) | ||||||||
| 接触重复性 | <±1µm(0.08mils) | ||||||||
| RF针座固定 | 磁力吸附/真空吸附 | ||||||||
| DC针座固定 | 磁力吸附/真空吸附 |
