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| 型号 | E4 | E6 | E8 | E12 | |||||
| 外形（长*宽*高/mm） | 680*670*760mm | 680*670*760mm | 750*670*800mm | 1030*800*850mm | |||||
| 重量（KG） | 约90kg | 约95kg | 约110kg | 约210kg | |||||
| 电力需求 | 220VC,50~60Hz | ||||||||
| 卡盘常温标准 | 卡盘尺寸 | 4' | 6' | 8' | 12' | ||||
| 样品固定方式 | 环形真空吸附（可定制多孔吸附） | ||||||||
| 背电极测试功能 | 有，样品台电学独立悬空 | ||||||||
| 卡盘材质 | 不锈钢/铜镀镍或镀金 | ||||||||
| 卡盘移动平台 | Theta行程 | 360°旋转（粗调）；微调范围±8°，微调精度0.002° | |||||||
| 卡盘升降 | 卡盘台可以上下快速升降5mm，微调升降行程6mm，精度1μm | ||||||||
| X-Y行程 | 100*100mm | 150*150mm | 200*200mm | 250*250mm | |||||
| 移动精度 | 10μm | ||||||||
| 卡盘快速拉出 | N/A | ||||||||
| 控制方式 | 小型旋钮驱动 | ||||||||
| 针座平台 | 外形尺寸 | 长550mm*宽405mm | 长720mm*宽405mm | 长980mm*宽480mm | |||||
| 卡盘到平台距离 | 8mm（卡盘上表面与针座平台下表面） | ||||||||
| 针座数量 | 最多可放6个针座 | 最多可放8个针座 | 最多可放10个针座 | ||||||
| 针座平台升降 | N/A | ||||||||
| 针座定位方式 | 磁力吸附或真空吸附 | ||||||||
| 光学特性 | 镜头规格 | 标配PSM-1000金相显微镜/可选（GX-6金相，体视，视频）显微镜 | |||||||
| 放大倍数 | 20-2000X | ||||||||
| CCD像素 | 3种CCD可选:200W（数字）/500W（数字）/650W（数字） | ||||||||
| 运动控制 | Z轴移动行程50.8mm，同轴旋钮调节，细调精度优于1μm | ||||||||
| 显微镜行程 | 显微镜2英寸XY平移台范围内移动 | ||||||||
| 显微镜移动精度 | 1μm | ||||||||
| 点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||||||
| 机械精度 | 10μm/2μm/0.7μm | ||||||||
| 漏电精度 | 同轴1pA/V @25℃；三轴100fA/V @25℃; 三轴10pA@3kv @25°C， 测试条件：接地屏蔽的干燥环境（空气露点低于-40°C） | ||||||||
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/三轴接口 |
